石英舟产品介绍

石英舟产品介绍

一、产品概述

石英舟，又称石英玻璃舟，是以高纯度二氧化硅（SiO₂，纯度达99.999%，即4N8级）为原料，经高温熔制而成的特种工业材料。它是半导体制造、光伏、化工、航天及科研领域中不可或缺的承载器具，被誉为"连接前后道工艺的桥梁"。

二、核心性能参数

SiO₂含量：≥99.999%（4N8级高纯石英）

软化点：约1730℃

长期使用温度：1100℃以下可长期使用

短期耐温：可达1450℃

热膨胀系数：5.4×10⁻⁷/℃（仅为普通玻璃的1/12～1/20）

可见光透过率：93%以上

紫外透过率：可达80%以上

电阻率：普通玻璃的10000倍以上（10¹⁶～10¹⁸ Ω·cm）

平面度：可控制在±0.002mm范围内

表面粗糙度：抛光后可达Ra0.0002

二、五大核心优势

一、耐高温——1730℃软化，1100℃长期稳定运行

石英舟软化点高达1730℃，可在1100℃下长时间使用，短时间可达1450℃。即使加热至1100℃后直接放入常温水中，也不会炸裂，热震稳定性强。

二、耐腐蚀——化学稳定性是耐酸陶瓷的30倍、不锈钢的150倍

除氢氟酸和300℃以上的热磷酸外，石英舟在高温下能耐受硫酸、硝酸、盐酸、王水、中性盐类等几乎所有酸类腐蚀，是目前化学稳定性的工程材料之一。

三、高纯——金属杂质低，保障芯片良率

高纯石英玻璃在高温环境下不易析出杂质，能有效避免污染硅片。这对追求纯净的半导体制程至关重要，直接影响晶圆制造良率。

四、电绝缘+透光——电阻是普通玻璃万倍，紫外到红外全波段透过

电阻率高达10¹⁶～10¹⁸ Ω·cm，介电损耗小（tanδ<0.0001），是优异的电绝缘材料。同时在紫外到红外整个光谱波段都有良好透过性能。

五、机械加工——零污染、零颗粒、槽位准确

通过槽位设计与表面处理，确保硅片在高温下均匀受热，较大限度减少滑移、翘曲与污染风险。抛光后工件表面粗糙度可达Ra0.0002，平面度±0.002mm。

三、主要应用领域

半导体制造：晶圆扩散、氧化、CVD沉积、退火、刻蚀等核心工艺的承载夹具

光伏产业：硅片高温扩散（磷扩散、硼扩散）、氧化、退火等工序

光电行业：LED、光纤、激光器等光电器件生产

化工行业：高温耐酸性气体燃烧装置、酸性溶液蒸发、蒸馏等

航天军工：火箭喷嘴、宇宙飞船防热罩、雷达超声延迟线

科研实验：管式炉承载、测硫仪清洗、化学实验容器

医疗器械：医用纯化水设备、药液输送器等制造过程

五、常见产品类型